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帕耳帖式空氣溫控器 HEA |
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系列/
CAD |
設定溫度范圍 |
冷卻能力 |
溫度穩(wěn)定性 |
冷卻方式 |
適用流體 |
HEA  |
0～50℃ |
22W |
±0.1℃ |
帕耳帖式
空冷卻式 |
空氣 |
| 特長 |
- 使用帕爾貼元件的高精度、小型溫調(diào)器。
- 對應于局部溫調(diào)或小容量溫調(diào)。
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帕耳帖式化學液溫控器 HED |
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系列/
CAD |
設定溫度范圍 |
冷卻能力 |
溫度穩(wěn)定性 |
冷卻方式 |
循環(huán)液 |
| HED |
10～60℃ |
300～750W |
±0.1℃ |
帕耳帖式
水冷卻式 |
去離子水(純水)
化學液 |
| 特長 |
- 采用了氟樹脂熱交換機，實現(xiàn)化學液的直接溫控。
- 氟樹脂熱交換機可以適應于多種化學液。
- 符合UL標準、CE規(guī)格。
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帕爾貼式溫調(diào)恒溫槽 HEB |
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系列/
CAD |
設定溫度范圍 |
冷卻能力 |
溫度穩(wěn)定性 |
冷卻方式 |
循環(huán)液 |
| HEB |
-15～60℃ |
140W |
±0.1℃ |
帕爾貼式
水冷卻式 |
清水
氟素化液 |
| 特長 |
- 用帕爾貼式元件可實現(xiàn)高精度溫調(diào)恒溫槽。
- 小型、低噪音。
- 獨特的攪拌方式使槽內(nèi)上下溫度分布均勻。
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帕耳帖式溫控器 HEC |
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系列/
CAD |
設定溫度范圍 |
冷卻能力 |
溫度穩(wěn)定性 |
冷卻方式 |
循環(huán)液 |
| HEC |
10～60℃ |
230W |
±0.01～
0.03℃ |
帕爾貼式
空冷卻式 |
清水 |
| 600、1200W |
±0.01～
0.03℃ |
帕爾貼式
水冷卻式 |
清水
氟素化液 |
| 特長 |
- 用于高精度的溫度控制。
- 用帕爾貼式元件可實現(xiàn)無氟里昂高精度溫度控制。
- 結(jié)構簡單，可靠性高。
- 小型、低震動，容易組裝。
- 可用于寬泛的電源電壓下。
- 符合UL標準、CE規(guī)格。
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水冷卻式溫控器 HRW |
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系列/
CAD |
設定溫度范圍 |
冷卻能力 |
溫度穩(wěn)定性 |
冷卻方式 |
循環(huán)液 |
| HRW |
20～90℃ |
2～30kW |
±0.3℃ |
水冷卻式 |
氟素化液
清水
去離子水(純水)
乙二醇
水溶液 |
| 特長 |
- 可以與工廠內(nèi)循環(huán)用水直接進行熱交換。
- 適用于無需冷凍設備調(diào)溫的場合。
- 溫度穩(wěn)定性高、溫度調(diào)節(jié)范圍寬、具有故障診斷外部通信性能，多用于半導體工藝設備。
- 符合UL和SEMI標準、CE規(guī)格。
- 可選擇帶變頻器類型。
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冷凍式溫控器 HRZ |
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系列/
CAD |
設定溫度范圍 |
冷卻能力 |
溫度穩(wěn)定性 |
冷卻方式 |
循環(huán)液 |
| HRZ |
-20～90℃ |
1.8～10kW |
±0.1℃ |
水冷冷凍式 |
氟素化液
清水
去離子水(純水)
乙二醇
水溶液 |
| 特長 |
- 在HRZ系列高性能的基礎上，采用了DC變頻壓縮機，實現(xiàn)了省能化。
- 兼?zhèn)鋸V泛的溫度調(diào)節(jié)范圍和冷卻能力范圍。
- 適用于更新周期短的半導體器件，可以靈活地響應不斷變化的工藝條件。
- 符合UL和SEMI標準、CE規(guī)格。
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冷凍式溫控器 HRZ |
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系列/
CAD |
設定溫度范圍 |
冷卻能力 |
溫度穩(wěn)定性 |
冷卻方式 |
循環(huán)液 |
| HRZ |
-20～40℃ |
1～15kW |
±0.1℃ |
水冷冷凍式 |
氟素化液
清水
去離子水(純水)
乙二醇
水溶液 |
| 20～90℃ |
| -20～90℃ |
| 特長 |
- 溫度穩(wěn)定性高、溫度調(diào)節(jié)范圍寬、具有故障診斷外部通信性能，多用于半導體工藝設備。
- 適用各種安全標準。
- 符合UL和SEMI標準、CE規(guī)格。
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冷凍式溫控器 HRGC |
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系列/
CAD |
設定溫度范圍 |
冷卻能力 |
溫度穩(wěn)定性 |
冷卻方式 |
循環(huán)液 |
| HRGC |
5～35℃ |
1～5kW |
±1.0℃/
±0.5℃ |
空冷冷凍式
水冷冷凍式 |
清水
去離子水(純水)
乙二醇
水溶液 |
| 特長 |
- 空冷類。設置操作簡單、在任何需要場合都可以得到冷卻水。
- 廣泛的應用于激光加工機/分析儀/LCD制造設備/模具溫調(diào)等。
- 適合海外出口(單相200～230V)
符合UL標準、CE規(guī)格。 | |
冷凍式溫控器 HRG |
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系列/
CAD |
設定溫度范圍 |
冷卻能力 |
溫度穩(wěn)定性 |
冷卻方式 |
循環(huán)液 |
| HRG |
5～35℃ |
1～15kW |
±1.0℃/
±0.5℃ |
空冷冷凍式
水冷冷凍式 |
清水
去離子水
(純水)
乙二醇
水溶液 |
| 特長 |
- 空冷類。設置操作簡單、在任何需要場合都可以得到冷卻水。
- 廣泛的應用于激光加工機/分析儀/LCD制造設備/模具溫調(diào)等。
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