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電磁閥空氣動作閥･氣控閥手動閥･腳踏閥･機械動作閥電氣控制輔助系統(tǒng)

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壓縮機執(zhí)行元件控制元件真空發(fā)生器調(diào)質(zhì)元件輔助元件真空吸盤搬運元件

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泵控制器

電動CT,波紋管泵通用控制器F-PCU02型

電源電壓	推奨電磁閥	適用范圍
DC24V.2A	電磁閥JA.F10 系列	F-EPT.F-EPB 系列

空壓波紋管泵

空氣壓波紋管泵F-APB系列F-APB08型

●氣缸驅(qū)動的低成本、低價格的波紋管泵。
●使用流體：光刻膠、純水、藥液（可燃性物質(zhì)不可）※選定，導入時，請事前聯(lián)絡、咨詢本公司

最大吐出壓力	吐出量 ml	供給空氣壓力范圍
0.05MPa	8	0.15～0.4MPa

空氣壓波紋管泵F-APB系列F-APB15型

最大吐出壓力	吐出量 ml	供給空氣壓力范圍
0.05MPa	15	0.15～0.4MPa

空氣壓波紋管泵F-APB系列F-APB40型

最大吐出壓力	吐出量 ml	供給空氣壓力范圍
0.05MPa	40	0.15～0.4MPa

空氣壓波紋管泵F-APB系列F-APB60型

最大吐出壓力	吐出量 ml	供給空氣壓力范圍
0.05MPa	60	0.2～0.4MPa

電動波紋管泵

電動波紋管泵F-EPB系列F-EPB08型

●易于控制的步進型馬達式波紋管泵。
●使用流體：光刻膠、純水、藥液（可燃性物質(zhì)不可）※選定，導入時，請事前聯(lián)絡、咨詢本公司

最大吐出壓力	吐出量 ml	吐出. 輸入流量 ml/s
0.2MPa	8	0.1～4

電動波紋管泵F-EPB系列F-EPB15型

●易于控制的步進型馬達式波紋管泵。
●使用流體：光刻膠、純水、藥液（可燃性物質(zhì)不可）※選定，導入時，請事前聯(lián)絡、咨詢本公司

最大吐出壓力	吐出量 ml	吐出. 輸入流量 ml/s
0.2MPa	15	0.1～4

電動波紋管泵F-EPB系列F-EPB40型

●易于控制的步進型馬達式波紋管泵。
●使用流體：光刻膠、純水、藥液（可燃性物質(zhì)不可）※選定，導入時，請事前聯(lián)絡、咨詢本公司

最大吐出壓力	吐出量 ml	吐出. 輸入流量 ml/s
0.2MPa	40	0.1～10

電動CT泵

電動CT泵F-EPT系列F-EPT06A1型

●膜片、波紋管之后，采用了全新構(gòu)造的定量排出泵
●使用液體：光刻膠、純水、藥液（可燃性物質(zhì)不可）

最大吐出壓力	吐出量 ml	吐出. 輸入流量 ml/s
0.15MPa	0.5～6	0.1～4

電動CT泵F-EPT系列F-EPT10A1型

●膜片、波紋管之后，采用了全新構(gòu)造的定量排出泵
●使用液體：光刻膠、純水、藥液（可燃性物質(zhì)不可）

最大吐出壓力	吐出量 ml	吐出. 輸入流量 ml/s
0.15MPa	0.5～10	0.1～4

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